為了在潔凈室運(yùn)行過程中及時(shí)了解與判定潔凈室所處狀態(tài)是否符合設(shè)計(jì)要求和滿足生產(chǎn)的需要，潔凈室應(yīng)定期對(duì)其主要技術(shù)性能指標(biāo)進(jìn)行周期性監(jiān)測(cè)，某些高級(jí)別潔凈室對(duì)一些關(guān)鍵性指標(biāo)甚至設(shè)置了連續(xù)巡查的裝置，以便及時(shí)判定潔凈室的受控狀態(tài)。
1、（表1：）標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-2的規(guī)定

備注：這些測(cè)試可按照規(guī)定的ISO等級(jí)在動(dòng)態(tài)或靜態(tài)條件下進(jìn)行；
a.氣流量可用風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)量方法測(cè)得。
b.本項(xiàng)測(cè)試不適用于非全封閉的潔凈區(qū)。
除上表規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試外，ISO 14644-2還給出了任選項(xiàng)目的測(cè)試，下表所列的任選項(xiàng)目測(cè)試也可包括在測(cè)試項(xiàng)目中。
（表2：）任選項(xiàng)目測(cè)試的時(shí)間間隔：
 
ISO 14644-2對(duì)潔凈室監(jiān)測(cè)還作出了如下一些補(bǔ)充規(guī)定：
（1）除表1所列的標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測(cè)項(xiàng)目外，用戶與承包商可共同商定增添其他的測(cè)試項(xiàng)目。
（2）如果潔凈室裝置了懸浮粒子濃度和壓差的監(jiān)測(cè)儀表，并連續(xù)或頻繁的進(jìn)行監(jiān)測(cè)，且監(jiān)測(cè)結(jié)果始終處于規(guī)定的限制以內(nèi)，則可延長表1所列的時(shí)間間隔。
（3）如果監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)出現(xiàn)超過規(guī)定限制的情況，標(biāo)明潔凈室不符合要求，要及時(shí)采取適當(dāng)?shù)难a(bǔ)救措施，補(bǔ)救措施完成后應(yīng)對(duì)潔凈室進(jìn)行再認(rèn)定，若符合要求，就可以恢復(fù)例行監(jiān)測(cè)。
（4）懸浮粒子濃度及其它參數(shù)的例行監(jiān)測(cè)一般是在動(dòng)態(tài)下進(jìn)行。
（5）懸浮粒子的監(jiān)測(cè)計(jì)劃是根據(jù)潔凈室的風(fēng)險(xiǎn)分析與評(píng)估制定的。該計(jì)劃中應(yīng)該包括的內(nèi)容有：預(yù)先設(shè)定的采樣裝置，每個(gè)空氣樣本的小采樣量、采樣的時(shí)間長短、采樣的時(shí)間間隔、測(cè)量的粒徑、計(jì)數(shù)的許可限制。如果需要還可包括報(bào)警值、行動(dòng)限制、漂移值。
2、國家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001關(guān)于監(jiān)測(cè)的規(guī)定
GB 50073-2001對(duì)潔凈室的監(jiān)測(cè)作了如下規(guī)定，確認(rèn)潔凈室或潔凈區(qū)符合規(guī)范要求應(yīng)進(jìn)行三項(xiàng)測(cè)試：
（1）空氣潔凈度測(cè)定（生物潔凈室應(yīng)進(jìn)行浮游菌、沉降菌測(cè)定）；
（2）靜壓差測(cè)試；
（3）風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試。
三項(xiàng)測(cè)試的長時(shí)間間隔分別列于下表3和表4中。
（表3：）空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證的測(cè)試要求

（表4：）靜壓差和風(fēng)速（風(fēng)量）認(rèn)證的測(cè)試要求

備注：如果潔凈室或潔凈區(qū)已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差執(zhí)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，并且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求，則認(rèn)證的測(cè)試時(shí)間間隔可延長。具體間隔時(shí)間，可與認(rèn)證單位洽商。
a.空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證，可在靜態(tài)或動(dòng)態(tài)檢測(cè)，洽商確定。
b.風(fēng)量測(cè)定，用風(fēng)速計(jì)在風(fēng)口或風(fēng)管測(cè)定。
c.該項(xiàng)測(cè)試不適用于潔凈區(qū)。