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美國聯(lián)邦規(guī)格No.209E的潔凈度級別分類

更新時間:2016-09-20  |  點(diǎn)擊率:2516

 

級別名稱**

級別上限值

粒徑

0.1um

粒徑

0.2um

粒徑

0.3um

粒徑

 0.5um

粒徑

5um

SI***

English

Unit

(m3

(ft3

(m3

(ft3

(m3

(ft3

(m3

(ft3

(m3

(ft3

MI

M1.5   

M2

M2.5

M3

M3.5

M4

M4.5

M5

M5.5

M6

M6.5

M7

 

1

 

10

 

100

 

1000

 

10000

 

100000

350

1240

3500

12000

35000

--

--

--

--

--

--

--

--

9.91

35.0

99.1

350

991

--

--

--

--

--

--

--

--

75.7

265

757

2650

7570

26500

75700

--

--

--

--

--

--

2.14

7.50

21.4

75.0

214

750

2140

--

--

--

--

--

--

30.9

106

309

1060

3090

10600

30900

--

--

--

--

--

--

0.875

3.00

8.75

30.0

87.5

300

875

--

--

--

--

--

--

10.0

35.3

100

353

1000

3530

10000   35300

100000

353000

1000000

3530000

10000000

0.283

1.00

2.83

10.0

28.3

100

283

1000

2380

10000

28300

100000

283000

--

--

--

--

--

--

--

247

618

2470

6180

24700

61800

--

--

--

--

--

--

--

7.00

17.5

70.0

175

700

1750

 級別上限值是各級別名。上限值用粒徑以上的濃度(單位堆積粒子數(shù))表示。*
* 上表中表示的級別上限值僅僅是為了級別分類而定義的,并不表示實(shí)際的粒徑分布值。
** 針對中間級別的濃度上限值,用如下的公式進(jìn)行計(jì)算。
粒子直徑/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI單位里的級別名稱,D : 粒徑(um)。
***單位(Systeme International d’Unites的縮寫)。

 

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