過濾器安裝檢查
1.1過濾器安裝前，必須在安裝現(xiàn)場拆開包裝進(jìn)行外觀檢查，內(nèi)容包括濾紙、密封膠和框架有無損壞，邊長、對角線和厚度尺寸等是否符合要求；杠架有無毛刺和銹斑（金屬框）；有無產(chǎn)品合格證，技術(shù)性能是否符合設(shè)計要求。
1.2檢查過濾器的濾材是否完好。
1.3濾材與其框架內(nèi)部的連接是否嚴(yán)密。
1.4過濾器框架的密封墊付和過濾器組支撐柜架之間連接是否穩(wěn)固。
2、過濾器檢漏
2.1測試方法：塵埃粒子計數(shù)器法。
2.2測試范圍：對于D級及更高潔凈度要求的潔凈室，包括層流工作臺、百級層流罩、隧道烘箱等設(shè)備上的過濾器，都必須在現(xiàn)場進(jìn)行檢查檢漏。
3、檢測材料及儀器
3.1塵源：含塵濃度為3.5*104粒/L，微粒≥0.5um的氣體。
3.2儀器：塵埃粒子計數(shù)器。
4、粒子計數(shù)器法檢漏方法
4.1在被檢測過濾器上風(fēng)側(cè)以大于或等于0.5um微粒，含塵濃度為3.5*104粒/L的空氣做為塵源，調(diào)整過濾器在接近設(shè)計風(fēng)速的條件下運(yùn)行，用粒子計數(shù)器在被測過濾器下風(fēng)側(cè)測得含塵濃度。
4.2根據(jù)《CLJ-03A型塵埃粒子計數(shù)器SOP》正確使用計數(shù)器。
4.3用塵埃粒子計數(shù)器采樣頭掃描過濾器的出風(fēng)側(cè)。采樣頭離過濾器距離約2～4cm處，沿過濾器內(nèi)邊框均速移動計數(shù)器探頭巡檢，掃描速度應(yīng)低于5cm/s。
5、泄漏后處理
5.1出現(xiàn)泄漏時，用環(huán)氧樹脂硅膠堵漏或螺栓緊固以后再次進(jìn)行掃描巡檢，儀表指示為“0”，表明漏點已被堵住。
5.2過濾器泄漏處允許用膠水修補(bǔ)，但是單個泄漏處的面積不能大于過濾器總面積的1%，全部泄漏點的面積不能大于過濾器總面積的5%，否則必須更換。
5.3過濾器修理或重裝后必須重新進(jìn)行測試。
6、檢測頻度
6.1在安裝或更換過濾器時應(yīng)進(jìn)行檢測。
6.2正常使用情況下，每年至少檢測一次。