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靜電和離子生成器測試儀表

發(fā)表時間:2020/3/1  |  點擊率:1380

潔凈室或其它受控環(huán)境對內(nèi)圍護結(jié)構(gòu)材質(zhì)的物理、化學穩(wěn)定性要求較高。相應而來的問題是地面面層雖光潔、柔韌、耐磨,但導電性能是否符合要求,會不會聚集靜電圍護結(jié)構(gòu)面層。特別是地面靜電聚集、其危害是多方面的,包括損壞電子設備、儀器、擊傷人體、導致火災、爆炸等,對于電子工業(yè)尤為嚴重。國家標準GB 50073-2001規(guī)定,地面面層應采用靜電耗散型材料,其表面電阻率應為1.0*105~1.0*1012Ω或體積電阻率為1.0*104~1.0*1011Ω.cm。地面應設有導電泄放措施和接地構(gòu)造,其對地泄放電阻值應為1.0*105~1.0*109Ω。有關(guān)防靜電系統(tǒng)測試方面的要求,可參考國內(nèi)電子行業(yè)標準SJ/T10694《電子產(chǎn)品和制造防靜電系統(tǒng)測試方法》。
國家行業(yè)標準JGJ 71-90《潔凈室施工及驗收規(guī)范》對地面、墻面及工作臺面的導靜電性能,推薦采用符合精度要求的高阻計,在被測表面上選定代表區(qū)域的兩點間,按下圖所示方法進行測試。


ISO 14644-3對靜電測試相關(guān)儀器給出了以下技術(shù)要求:
1、靜電電壓計
靜電電壓計用以測量ɑ區(qū)域內(nèi)的平均電壓或電位,對其技術(shù)要求如下表所列。
對精密電壓計的測量技術(shù)要求:
   

對手動式靜電電壓計或靜電場強計的測量技術(shù)要求:


2、高電阻歐姆表
高電阻歐姆表用以測量絕緣材料和部件的電阻,其方法是探測從一施加高壓的部位到被測部位的漏電電阻,對其技術(shù)要求及附加技術(shù)要求如下表所列。
高電阻歐姆表的測量技術(shù)要求:


高電阻歐姆表的測量附加技術(shù)要求:

3、充電板檢測儀
充電板檢測儀用以測量電離器或離子化裝置的中和特性。測試的目的是評估雙極離子生成器的性能,測試內(nèi)容通常包括兩個方面:
(1)測量放電時間,用以計算離子生成器消除靜電荷的效率;
(2)測量補償電壓,用以評估在離子生成器生成的離子化氣流中正負離子的不穩(wěn)定性。離子的不穩(wěn)定會造成不利的殘余電壓。





 

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