我國的空氣潔凈技術起始于20世紀50年代中期，至今大致經(jīng)歷了四四個發(fā)展階段：
（1）從20世紀50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯(lián)的技術，服務于國防、航天、原子能工業(yè)與科研。與現(xiàn)代潔凈技術相比，在廠房、設備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙，屬于起步階段。
（2）從20世紀60年代中期到70年代后期，由于國內外的種種原因，主要靠自力更生發(fā)展。當時參照了美國和日本的標準和技術，逐步研制成過濾器和納焰法試驗臺、潔凈工作臺、粒子計數(shù)器、裝配式潔凈室及其他潔凈室附屬設備（風淋室、傳遞窗、余壓閥等），編制了“空氣潔凈技術措施”，奠定了我國潔凈技術的基礎。
（3）從20世紀70年代末到80年代末，由于實行了改革開放的國策，發(fā)達國家的技術與設備開始進入我國市場，現(xiàn)代潔凈技術在我國的大規(guī)模集成電路、光導纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業(yè)潔凈領域得到迅速發(fā)展，裝備0.1um過濾器的10級潔凈室和無隔板過濾器研制成功。同時在醫(yī)療、制藥、生物、化妝品與食品行業(yè)生物潔凈室也得到應用，一些制藥廠對原有空調系統(tǒng)的改造中開始采用生物潔凈技術，簡易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無菌病房用于醫(yī)院，生物安全工作臺和細菌采樣儀研制成功。1982年我國醫(yī)藥行業(yè)GMP公布，1983年中國電子學會潔凈技術分會成立，1985年GBJ73-1984《潔凈廠房設計規(guī)范》頒布，我國的潔凈技術進入穩(wěn)步發(fā)展階段。
（4）20世紀80年代末至今，在大規(guī)模集成電路領域全面引進境外資金、技術與設備，形成一批的品牌企業(yè)，潔凈室的規(guī)模越來越大，風機過濾機組（FFU）和微環(huán)境技術得到應用和推廣。在醫(yī)療和制藥領域潔凈技術趨向成熟與規(guī)范，生物安全技術發(fā)展迅速。包括微環(huán)境、密褶型無隔板過濾器、微計算機控制過濾器性能測試臺等潔凈技術相關的技術設備基本可以實現(xiàn)國產(chǎn)，同時還開始了0.1um光刻機及相關環(huán)境的研制。